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HSQ 900 / HSQ 910

HSQ 900 und 910 sind synthetische Quarzgläser, die sich durch den OH- respektive Cl-Gehalt unterscheiden. Beide Materialien besitzen aufgrund des synthetischen Ausgangsmaterials eine größtmögliche Reinheit mit Gesamtverunreinigungen im ppb-Bereich. Während sich HSQ 900 durch einen niedrigen OH-Gehalt von typisch 0,2 ppm auszeichnet, besitzt HSQ 910 eine vergleichsweise niedrige Cl-Konzentration. Die Viskosität von synthetischem Quarzglas ist dabei niedriger als die anderer Quarzgläser.

Merkmale / Besonderheiten:

Ultrarein, OH < 0.2 ppm, Gesamtverunreinigung im ppb-Bereich, minimale Anzahl an Defektzentren

Produkte und Anwendungen:

Halbleiterprozesse mit sehr hohen Reinheitsanforderungen

Chemische Reinheit – Typische Spurenelemente und OH - Gehalt in Quarzglas (ppm)
Elements Al Ca Cl Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ti Zr OH Content
HSQ 900 <0.04 <0.02 1500 <0.001 <0.001 <0.03 <0.01 <0.002 <0.01 <0.0005 <0.01 <0.03 <0.04 0.2
HSQ 910 <0.04 <0.02 <50 <0.001 <0.001 <0.03 <0.01 <0.002 <0.01 <0.0005 <0.01 <0.03 <0.04 250

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