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HSQ 700

HSQ 700 ist ein elektrisch geschmolzenes Quarzglas mit weiter reduziertem Alkaligehalt. Durch die verminderte Gesamtkonzentration von Li, Na und K auf typisch unter 0,2 ppm weist HSQ 700 eine höhere thermische Stabilität und geringere Entglasungsneigung auf. Das Material ist daher für die anspruchsvollsten Anwendungen prädestiniert.

Merkmale / Besonderheite:

Geringer Alkaligehalt durch Quarzsand höherer Reinheit, Alkalimetall-/OH-Gehalt (< 0.05 ppm/<30 ppm)

Produkte und Anwendungen:

Halbleiterprozesse mit sehr hohen Reinheits- anforderungen

Chemische Reinheit – Typische Spurenelemente und OH - Gehalt in Quarzglas (ppm)
Elemente Al Ca Cl Cr Cu Fe K Li Mg Mn Na Ti Zr OH - Gehalt
HSQ 700 15 0.5 n. s. <0.05 <0.05 0.1 0.1 0.05 0.05 <0.05 0.05 1.1 0.7 <30